具有AIXTRON系统的经济型大规模石墨烯

今天，Graphene旗舰合作伙伴AIXTRON展示了两种系统，可以为消费电子，传感器和光子应用中的应用提供经济高效的石墨烯生产。

石墨烯旗舰合作伙伴爱思强公司推出了其两个系统的结果，这两个系统能够通过化学气相沉积(CVD)大规模生产石墨烯。Neutron是一种卷对卷系统，能够在环境条件下在金属箔上沉积大面积的石墨烯; CCS 2-D系统能够在绝缘晶圆上进行晶圆级石墨烯的生产，这一突破将加速新型石墨烯电子产品的开发。为了证明所生产石墨烯的成本效益，AIXTRON爱思强在工业论坛上分发了样品。

创新的Neutron系统每年可生产高达20,000平方米的石墨烯; 这大约是目前使用的典型反应堆的生产能力的200倍。AIXTRON的项目经理Alex Jouvray和Graphene Flagship生产工作包负责人表示，“Neutron是三年多研发成果的产物，其中包括在第一阶段的卷对卷石墨烯生长的演示。石墨烯旗舰项目。“

Neutron将大面积石墨烯的生产带到了学术界和工厂车间。“涂有石墨烯的箔片在环境条件下进入并离开Neutron系统，”Jouvray解释说。“由于它不需要真空，因此可以很容易地将中子放置在石墨烯制造工厂内，”他补充道。使用这种新技术生产的大面积单层石墨烯可以用于透明导体，可穿戴设备和涂层。“而且，这是经济的，”Jouvray补充道。“使用Neutron，我们能够将一平方米石墨烯CVD薄膜的成本降低两个数量级，”他解释说。“这是一个改变游戏规则的人。”

多功能CCS系统面向半导体应用。在这里，有严格的污染要求; 通常，石墨烯需要在金属表面和箔上生长，这些金属表面和箔是非平坦的，在半导体工业中难以处理并且包含金属污染物，在材料进入晶圆厂之前需要进一步的清洁步骤。在石墨烯旗舰项目的最初几年，与石墨烯旗舰合作伙伴Istituto Italiano di Tecnologia(IIT)的Camilla Coletti一起，AIXTRON将石墨烯在绝缘体上的生长扩大到全晶圆规模在其CCS 2-D反应器上，可容纳2英寸至8英寸的晶圆。晶片具有低污染水平，可在生长后直接满足半导体工厂的要求。Camilla Coletti评论说“只有石墨烯旗舰项目才能实现这一巨大进步，该项目将来自学术界的顶尖科学家和来自世界领先设备公司的工程师聚集在一起。” 该系统还能够大规模生产其他层状材料，例如氮化硼或过渡金属二硫属化物。

石墨烯旗舰创新主管Kari Hjelt认为，“爱思强开发的这些系统展示了我们在石墨烯旗舰产品的最初几年中对原型的投资是如何产生能够通过化学气相沉积大规模生产石墨烯的产品。” 他补充道，“这些发现开辟了除石墨烯之外的数千种可能性，其他层状材料的晶圆的到来，甚至夹层异质结构都在指日可待，”Hjelt总结道。

Graphene旗舰公司科技官兼管理委员会主席Andrea C. Ferrari补充说：“石墨烯旗舰的最终目标是将石墨烯和相关的分层材料从实验室带到工厂车间。采取这些新材料传统的半导体工厂是实现其在消费电子，光子学和传感器中广泛应用的关键，需要能够大面积，大速率和低成本制造石墨烯及相关材料的工业工具。“

“有了这些系统，”法拉利补充说，“石墨烯旗舰合作伙伴AIXTRON引领了这些新材料开辟新市场机遇的方式。制造大规模石墨烯的能力特别重要，因为石墨烯旗舰公司准备推出第一批石墨烯铸造厂。此外，这些产品是石墨烯旗舰产品创新和技术路线图的基石，并表明我们将在前十年实现雄心勃勃的目标。“

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