中国国家队出手入局光刻机 20年前就已经悄然行动

芯片一直是中国的技术短板，但只能说是这几年的短板了，这一次国家队出手，入局光刻机!抱着必胜的信念。

或许是因为华为的原因，人们逐渐开始关注到芯片这个不经常见到的小东西，同时也开始了解到，芯片能够被应用到各种终端的电子产品上，是经过了很多复杂的过程，仅生产制造一个环节，就足以令我们眼花缭乱。

然而随着人们认知程度的提高，也已经知道，芯片生产制造中，一个关键环节就是光刻环节，其中就涉及到了关键设备光刻机，这或许就是大部分人能够了解到的最多情况。

我们知道，近日中科院正式宣布了，要开始进入光刻机领域，做到在国际上占有一席之地，既然确定了这样的目标，那么所要研发的光刻机，就应该是EUV光刻机。

很多人可能还不了解，目前光刻机主要是分为EUV光刻机和DUV光刻机，前者采用极紫外光刻技术，后者采用深紫外光刻技术，EUV是已经被确定的，用于制造先进工艺芯片的光刻机发展方向。

就在近日，中科院长春光机所宣布，长春光机所作为依托单位获批建设“中国科学院精密光电制造技术工程实验室”。

然而这里的实验室并非我们常规理解的实验室，也并不代表着对某些技术研发的开始，事实上正相反，是推进相关领域科技成果转移转化的平台。

很显然，中科院长春光机所将成为中科院发展光刻机的幕后英雄，事实上，长春光机所早在20年前就开始了对EUV技术的探索。

自上世纪90年代起，长春光机所就开始专注于EUV/X射线成像技术研究，着重开展了EUV光源、EUV多层膜及相关EUV成像技术研究，形成了极紫外光学的应用技术基础。

可以说这个时间与国际上开始对EUV技术的研究时间处在相同的水平，在之后的2002年，长春光机所就已经研制出国内第一套EUV光刻原理装置，实现了EUV光刻的原理性贯通。

然而就在三年前，长春光机所承担的国家科技重大专项项目，“极紫外光刻关键技术研究”顺利通过验收。

中科院微电子研究所所长叶甜春表示，长春光机所光刻机队伍是承担最核心、最高端、最艰苦任务的队伍，也是专项团队中最有战斗力、最能抗压、最值得信任的主力部队。

就在当时，我国科技部原副部长曹健林，作为国内熟悉EUV光刻的领域专家之一，其表示，30年前的“中国光刻梦”正在逐步变为现实。

所以我们看到，中科院虽然是刚刚才如此正式的宣布要攻破光刻机，但对光刻机的布局其实已经有了近三十年的历史，这就像之前任正非所说的：我们有准备，不是说说而已。

可以说，这句话用在中科院身上非常合适，我们不是说说而已，而是有着充足的准备。

而且想必也已经有朋友了解到，在今年的七月份，中科院苏州纳米所，推出了一种新型5nm超高精度激光光刻加工方法。

所以整体来看，中科院在光刻机，尤其是目前最先进的EUV光刻技术领域，有着二十多年的技术积累，目前已经开始走向成果转化，用中科院白院长的话说，就是解决一批“卡脖子”的问题。

当然，极紫外光刻技术难度如此之外，长春光机所是“极紫外光刻关键技术研究”项目的牵头单位，成员单位还包括像北京理工大学、哈尔滨工业大学、华中科技大学这样的大学机构。

可以说，他们都是我国实现EUV光刻机伟大理想的幕后英雄，也可以说，我们对中科院对光刻机的攻坚充满了信心，相信这一天的到来不会远了，我们拭目以待。

在大多数人的想法里，这一次国家队都出手了，事情应该是妥妥没有问题了，相信不用多久，也许就这么两三年我么就能收到成功的消息。

郑重声明：本文版权归原作者所有，转载文章仅为传播更多信息之目的，如有侵权行为，请第一时间联系我们修改或删除，多谢。

浙江杭州一大货车十字路口遇红灯紧急停车下一秒恐怖一幕发生现